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sccm是什麼單位名稱
sccm是體積流量單位。氣體體積流量係指單位時間輸送管道中流過的氣體體積。氣體體積有工作狀態下體積和標準狀態下體積之分，它們都是指在某個壓力和某個温度情況下的體積，後者是指壓力為一個標準大氣壓、温度為０℃（或20℃...
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