光刻机光刻机是干什么用的
光刻机是芯片制造的核心设备之一。
在加工芯片的过程中,光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段,将光束透射过画着线路图的掩模,经物镜补偿各种光学误差,将线路图成比例缩小后映射到硅片上,然后使用化学方法显影,得到刻在硅片上的电路图。
光刻机的结构组成:
1、测量台、曝光台:是承载硅片的工作台。
2、激光器:就是光源,光刻机核心设备之一。
3、光束矫正器:矫正光束入射方向,让激光束尽量平行。
4、能量控制器:控制最终照射到硅片上的能量,曝光不足或过足都会严重影响成像质量。
5、光束形状设置:设置光束为圆型、环型等不同形状,不同的光束状态有不同的光学特性。
6、遮光器:在不需要曝光的时候,阻止光束照射到硅片。
7、能量探测器:检测光束最终入射能量是否符合曝光要求,并反馈给能量控制器进行调整。
8、掩模版:一块在内部刻着线路设计图的玻璃板,贵的要数十万美元。
9、掩膜台:承载掩模版运动的设备,运动控制精度是nm级的。
10、物镜:物镜用来补偿光学误差,并将线路图等比例缩小。
11、硅片:用硅晶制成的圆片。硅片有多种尺寸,尺寸越大,产率越高。
12、内部封闭框架、减振器:将工作台与外部环境隔离,保持水平,减少外界振动干扰,并维持稳定的温度、压力。
-
说说句子大全心情短语
1、故事的开头总是相伴到老,故事的结局总是各自安好。2、时间,会沉淀最真的情感;风雨,会考验最暖的陪伴。3、人生伟业的创建,不在能知,乃在能行。4、说再也不要去想你的人是我,夜里在被窝哭的也是我。5、每天醒来,敲醒自己的不是钟声,而是梦想。6、人生就是一场盛大的遇...
-
台风预警几个等级划分
1、中国气象局2004年8月16日发布了《突发气象灾害预警信号发布试行办法》,其中把台风预警信号分为蓝色、黄色、橙色和红色四级。2、台风蓝色预警信号表示24小时内可能或者已经受热带气旋影响,沿海或者陆地平均风力达6级以上,或者阵风8级以上并可能持续。3、台风...
-
孔雀鱼怎么繁殖
1、孔雀鱼为卵胎生鱼种(卵在体内受精,受精卵保留在母体内,靠卵本身的卵黄供给营养发育到小鱼时才生出来),雌鱼在交配两周后,腹部涨大出现黑色胎斑,即为生产前兆,雌鱼产子时间约半小时,多数在傍晚或黎明完成产子,孔雀子鱼一离开母体即有活动觅食能力,由於成鱼会吃子鱼(尤...
-
土豆脆脆的算是熟了吗,脆脆的土豆熟没熟
1、土豆脆脆的不一定是没熟,也可能是在炒制过程中将它炒的比较脆而已,因为一些人在吃土豆的时候会更喜欢爽脆的口感。2、要是想吃软糯一点的,我们可以在炒制土豆的时候在锅里加些水,然后盖上盖子焖一段时间再炒。...