光刻機到底難在哪裏,它有什麼特點
1、難在它的製造精度,爲了便於形象地解釋,光刻機制造芯片的過程就相當於“沖洗照片”。設計好的集成電路的電路圖相當於照片的“拍攝的內容”,晶圓就相當於“相紙”,光刻機的其它機構就相當於與照相機的“鏡頭機構”。
2、不同的是洗照片是將照片放大呈現到相紙上,製造芯片是將設計的集成電路微縮到晶圓上拇指大小的區域內,而且電路的投影精度達到了納米量級。
3、光刻機的加工過程,光刻機技術發展已經發展到了紫外光階段,我們就以紫外光爲例說明。光刻機加工芯片的過程簡單地講就是,光源提供的紫外光照射到刻着電路設計圖的掩模板上,紫外光透過掩模板後進入物鏡,物鏡將掩模板上的電路圖大比例的縮小後,將電路投影到硅片上,這樣硅片上就刻下設計好的電路圖,這個過程中曝光臺和測量臺處於聯動的狀態。
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