光刻机光刻机是干什么用的
光刻机是芯片制造的核心设备之一。
在加工芯片的过程中,光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段,将光束透射过画着线路图的掩模,经物镜补偿各种光学误差,将线路图成比例缩小后映射到硅片上,然后使用化学方法显影,得到刻在硅片上的电路图。
光刻机的结构组成:
1、测量台、曝光台:是承载硅片的工作台。
2、激光器:就是光源,光刻机核心设备之一。
3、光束矫正器:矫正光束入射方向,让激光束尽量平行。
4、能量控制器:控制最终照射到硅片上的能量,曝光不足或过足都会严重影响成像质量。
5、光束形状设置:设置光束为圆型、环型等不同形状,不同的光束状态有不同的光学特性。
6、遮光器:在不需要曝光的时候,阻止光束照射到硅片。
7、能量探测器:检测光束最终入射能量是否符合曝光要求,并反馈给能量控制器进行调整。
8、掩模版:一块在内部刻着线路设计图的玻璃板,贵的要数十万美元。
9、掩膜台:承载掩模版运动的设备,运动控制精度是nm级的。
10、物镜:物镜用来补偿光学误差,并将线路图等比例缩小。
11、硅片:用硅晶制成的圆片。硅片有多种尺寸,尺寸越大,产率越高。
12、内部封闭框架、减振器:将工作台与外部环境隔离,保持水平,减少外界振动干扰,并维持稳定的温度、压力。
-
晒干桑葚的正确方法
1、果实采收,制干的桑葚必须充分成熟,其标志是果汁有较强的粘着力,品尝时各果甜味一致。2、原料的整理,剔除果穗中的枯叶干枝,并用疏果剪除去霉烂或变色的不合格果粒。晾挂桑葚果穗用的嵌有硬细木的木椽子,一端用麻绳或铁丝垂直系于晾房屋顶,晾房四壁均留有足够的通气...
-
失恋的说说短语
一、大不了我不想了,大不了你不爱了,大不了我一个人生活。二、现在才懂,原来一个人可以难过到,没有情绪,没有言语,没有表情。三、有种悲伤是说不出口的,它潜伏在心底,痛到你无法呼吸。四、你曾是我的梦,后来成了现实,到如今却只是回忆。五、当你觉得他不爱你了,你就不要想...
-
找一些让人心疼的句子
1、我在怀念,你不再怀念的。2、以前为你不顾一切,但现在我想选择快乐。3、生活就是强奸,假如不能反抗就躺下来享受。4、我对感情很偏食,只靠你的爱我才可以过日子。5、旋转木马是最残忍的游戏,彼此追逐却有永恒的距离6、我等你,直到我不再爱你,我想你,直到我不再伤心。...
-
小雪节气的句子
1、大地一片白茫茫,风吹雪舞飘飞扬。羽绒服装虎皮帽,雪地行走不畏寒。老人孩子少出门,防止滑倒摔伤身。冬日在家多调养,愿你享受续精锐。小雪快乐健康!2、时光一转眼,又是小雪飘,把烦恼融化,跟快乐舞蹈,纷纷扰扰,红尘渺渺,走了过客,留下守候,还会念起吗?曾陪你的红了樱桃,绿...