離子注入的具體原理是什麼

離子注入的具體原理是將所注入的氣體離子化成爲帶正電荷的離子束。對離子束用磁場進行篩選後，得到所需要的注入離子，再加速撞擊到注入表面，達到注入離子的目的。在這過程中，需要控制好真空度，一般需要超高真空。另外，需要控制好加速能量和注入角度，以控制注入的深淺程度。整個系統需要有精確的電流測量和計算，精密的機械運動控制。因此，離子注入系統是集機械，真空，電子測量，計算機控制，高速數據採集和通訊等一體的複雜精密控制系統。