中國有光刻機嗎
中國有光刻機,位於我國上海的SMEE已研製出具有自主知識產權的投影式中端光刻機,形成產品系列初步實現海內外銷售。正在進行其他各系列產品的研發製作工作。
光刻機(Mask Aligner)是製造微機電、光電、二極體大規模集成電路的關鍵設備。其分爲兩種,一種是模板與圖樣大小一致的contact aligner,曝光時模板緊貼晶圓;另一種是利用類似投影機原理的stepper,獲得比模板更小的曝光圖樣。高端光刻機被稱爲“現代光學工業之花”,製造難度很大,全世界只有少數幾家公司能製造。
光刻機的品牌衆多,根據採用不同技術路線的可以歸納成如下幾類:高端的投影式光刻機可分爲步進投影和掃描投影光刻機兩種,分辨率通常在十幾納米至幾微米之間,高端光刻機號稱世界上最精密的儀器,世界上已有7000萬美金的光刻機。高端光刻機堪稱現代光學工業之花,其製造難度之大,全世界只有少數幾家公司能夠製造。國外品牌主要以荷蘭ASML(鏡頭來自德國),日本Nikon(intel曾經購買過Nikon的高端光刻機)和日本Canon三大品牌爲主。
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